MEMS技术知识 - RFID技术文库

[行业配套材料] [其他] 手机射频开关领域的工艺之争： RF-SOI Vs.MEMS

RF器件和制造工艺市场正在升温，这种态势对于智能手机中使用的两个关键组件 - 射频开关器件和天线调谐器尤为明显。

[传感器网络] [制造] 基于洛伦兹力的MEMS磁传感器设计及制作

由于磁性传感技术不会受到灰尘、污垢、油脂、振动以及湿度的影响，因此磁传感器在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、缺陷定位和铁磁材料剩余应力检测等方面。为了满足不同场合的应用，已根据不同传感原理制备了相应的磁传感器，常见的有超导量子干涉装置(SQUID) 、磁通门磁力计、霍尔效应传感器、各向异性磁阻(AMR)传感器、微机电系统(MEMS)磁传感器。

[传感器网络] [物流] 基于模型识别技术的高温微型压力传感器

高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式压力传感器。传感器件由MEMS 工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。

[传感器网络] [其他] 基于3D无线射频鼠标的设计与实现

一种3D无线鼠标设计的新思路，以凌阳单片机为核心控制器，通过MEMS加速度传感器和触控模块。感知鼠标的移动动作，同时，通过无线射频完成无线通信，从而实现鼠标功能。使用过程中。鼠标不仅可以放于载体使用，而且可以在空中使用，增添了鼠标的操控方式，同时，大大增加了此无线鼠标的适用范围。

[RFID中间件] [其他] 基于高温的微型压力传感器

压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。

[传感器网络] [制造] MEMS传感器融合将推动集中处理快速发展

MEMS领域中出现的传感器融合趋势，不但正在帮助改善移动与游戏设备中基于运动的精度，而且将为集中处理领域带来新的重大发展，并有望大幅提高其营业收入。

[无线通讯网络] [制造] ZigBee在智能家居无线数传中的实现

伴随着MEMS技术和无线通讯技术、传感器技术的飞速发展，无线传感器网络在工业控制、军事生产、生活、医疗、教育科研中有了更广泛的应用。为此，论述了在智能家居中一种架构于CC2430芯片基础上面的无线数据传输模块的设计方法。

[传感器网络] [其他] 金江军：对智慧城市的理解和发展建议

在两化融合领域，要以提高工业生产自动化、智能化程度为目标，开展“工业物联网”应用试点示范工作。将物联网技术应用到物流管理、生产过程控制、生产设备监控、产品质量溯源、工业企业节能减排和安全生产等领域。发展“无人工厂”，通过进料设备、生产设备、包装设备等的联网，提高企业产能和生产效率。在工业企业大力推广无线射频识别（RFID）、机器对机器（M2M）、微传感器（MEMS）、智能工业机器人等技术。将SaaS、云计算等技术应用到企业信息化服务平台建设。

[传感器网络] [制造] 基于系统级封装技术的车用压力传感器

本文在对扩散硅压力传感器的工作原理和传统封装形式分析的基础上，在压力传感器的设计中借鉴系统级封装的基本思想，将扩散硅压力敏感芯片及其相应的驱动放大电路等附属电路系统集成在一块特殊设计的印刷电路板上，再运用专门设计的MEMS系统级封装工艺将其封装在一个金属壳体中，形成完整的压力传感器。

[传感器网络] [制造] 个人导航仪中的MEMS压力传感器

本文论述如何在个人导航仪内利用MEMS压力传感器辅助GPS接收器测量海拔高度。本文第一部分概述大气压与海拔高度的关系。第二部门描述如何使用压力传感器计算海拔高度。第三部分介绍如何在一个个人导航仪如智能手机内集成压力传感器。

[传感器网络] [交通] MEMS传感器和智能传感器的发展

MEMS传感器和智能传感器是新型传感器的代表，具有集成化和智能化的特点。介绍了2种传感器的最新发展状况，包括测量精度、灵敏度、体积、转化机理、融合理论等方面。列举了2种传感器的应用实例，如仿生机器人、微纳卫星、计算机视觉系统等。分析了传感器发展的趋势，涉及精度、可靠性、微型化、微功耗、智能化、数字化等方面。

[传感器网络] [医疗] 基于MEMS传感器的胎儿心率检测仪

对胎儿心率的监护，能够监测出胎儿在母体的突发情况，并及时进行救治，可有效预防围产期胎儿死亡。本文运用一种新型MEMS加速度传感器，设计制作出一个小型化、便携式的胎儿心率监护仪据有体积小、重量轻、功耗1氏的特点，便于在日常生活中随身携带，方便实用。

[无线通讯网络] [支付] 利用MEMS技术实现移动电话射频设计

射频(RF)设计目前最强大的趋势是推动可配置/免频带的无线和天线设计。使RF元件可以数位化重新配置的优点与需求逐渐增加，因此能够精确且数位化地控制频率和阻抗值，并持续对系统性能进行最佳化。

[传感器网络] [制造] 乘传感网东风，攀MEMS产业高峰

传感网是中国未来发展的经济引擎，发展传感网将对中国未来国际政治经济地位产生重大影响。

[无线通讯网络] [交通] MEMS将在未来智慧城市中发挥重要作用

在嘉定举行的物联网与MEMS（微电子机械系统）应用论坛上，各类物联网等智能化技术的综合应用方式充分展现，为未来的生活营造出一座“智慧城市”。

[传感器网络] [制造] MEMS惯性传感器优势解析

意法半导体公司推出一系列惯性传感器，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子MEMS传感器市场的份额。

[传感器网络] [汽车] MEMS第三次应用浪潮临近

汽车传感器市场在2009年规模就达到了25亿美元。2004至2009年间，全球汽车传感器市场的年复合增长率已经达到了9%左右。

[传感器网络] [制造] MEMS加速计、陀螺仪和地磁感应计推动创新型消费电子应用发展

MEMS传感器是消费电子实现创新应用不可或缺的关键元器件。

[无线通讯网络] [汽车] MEMS在汽车电子中的应用及发展

在二十世纪90年代早期，汽车安全气囊系统就开始大量采用MEMS加速度计。在其后的十年中，MEMS技术的第二次应用浪潮被掀起。

[无线通讯网络] [医疗] MEMS技术：医疗电子跨越式发展的新动力

针对MEMS材料、设计、制造、检测、工艺、装备与系统集成等关键技术，建立MEMS医疗电子研发体系和产业化基地，围绕医疗电子开发出若干小批量、多品种、高质量MEMS器件及微系统，推动MEMS的可持续发展和未来产业化的形成打下良好的基础。

[传感器网络] [制造] 全球MEMS技术应用及其市场发展状况

MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器(actuator)与电子元件。MEMS通常会被看作是一种系统单晶片(SoC)，它让智能型产品得以开发，并得以进入很多的次级市场，为包括汽车、保健、手机、生物技术、消费性产品等各领域提供解决方案。

[相关行业] [其他] 微系统（MEMS）：创新研发合作模式

微系统：创新研发合作模式建设良好生态环境,工业和信息化部电子科技委专用装备组微系统原来是指MEMS(微机电系统)，是微电子技术从二维向三维发展。

[传感器网络] [汽车] 基于智能传感器MPXY8320A的TPMS系统设计

目前直接式TPMS正逐步取代间接式TPMS而成为轮胎气压监测系统的主流。但是，有源MEMS式TPMS传感器／发射器需要电池提供动力，因此不可避免地带来一些弊端，如电池的寿命有限和电池的存在很难降低发射器的重量等。从长远来看，无源MEMS式TPMS以其无可比拟的优点将成为未来TPMS发展的趋势。

[传感器网络] [其他] 基于免疫微传感器的微流体系统

本文在MEMS工艺制备的电极型免疫微传感芯片的基础上，设计和制备微反应室以及微进出样沟道，利用SU-8胶和PDMS等材料搭建微流体系统，用以结合蠕动泵完成敏感膜固定化及进样和清洗等免疫检测操作过程，消除人为干扰，改善生物敏感膜制备以及免疫反应环境，探索提高生物敏感膜固化的稳定性和一致性，为提高免疫微传感器检测一致性的研究积累方法和经验。