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晶圆存储柜身份识别

[RFID模块与读写器产品] [制造] RFID技术赋能半导体晶圆盒储存柜实现“身份”识别

科智立经深入研发实验，开发了适用于管理半导体晶圆的RFID放大器单元读取器，广州某光掩膜公司的晶圆盒储存柜使用的便是科智立RFID读取器，将RFID载体读写器部署在储存柜每层支撑板下方，当晶圆盒放入到储存柜的对位柱时，红外射线触发RFID载体读写器进入识别状态，立即识别晶圆盒上的CID载体，系统即可判断晶圆盒放置位置正确与否、判断晶圆盒是否在柜等，结合储存柜的温湿度、氧气氮气等传感器，便可实现晶圆盒的环境管理、柜位管理与信息化管理。