C1光谱共焦纳米级位移计

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德国C1光谱共焦纳米级位移计
传感器测量系统基于光谱共焦原理,由光学头和控制器组成,之间通过一根光缆连接。光缆长度可根据用户需要配制,标准2米,最长10米.

原理:
卤素灯发出的全色白光由光学透镜组分离成色谱,色谱中被精确聚焦的单色光沿轴向红、黄、绿、有序精确排列，每一个单色光的波长代表一个精确的空间轴向位置。测量时，单色光在被测体表面形成的焦点，被反射到控制器中光谱空间滤波器检出,由频谱分析仪处理，被测体表面这一聚焦点上的光波波长被精确检出，轴向空间位置也就被精确检出。其波长测量原理决定分辨率高达纳米级。

特点：
*纳米级分辨率；与光强度无关,即于被测体反射系数无关;
*适用各种金属、非金属，以及透明材料的表面位置、位移测量。并与被测体表的亮暗无关；
*精致紧凑光路结构，光学传感器头离控制器几米远,给使用带来方便；
*单向可测玻璃厚度、透镜厚度,以及透明薄膜厚度测量；
*与三角反射法不同,几乎无反射角要求,且无反射平面阻挡之影响,因此可用于小孔深度测量；
*对环境要求不高:无需附加背景光,对被测体温度不敏感, 对被测体表面色差和纹理不敏感；

应用:
纳米级的测量精度，对被测表面无特殊要求,无论是漫反射或全反射被测表面都能检测。特别适合玻璃等透明物体表面平整度，及厚度测量；
小孔深度测量；透明、非透明液面测量：

指标：
量程0.3 mm
分辨率25 nm
线性0.5%
重复性10 nm
测量间隙4 mm
光源卤素灯55W
光斑直径9µm
测量垂直度90º±25º
响应：30HZ～1500HZ
输出：数据接RS232，模拟0－10V
重量：传感器约30g，仪器约4Kg
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