全面解读：可读FOUP晶圆盒的RFID半导体读写器设备的使用

随着国内半导体行业的发展，行业间的竞争也随之日渐激烈，加之成本上升、国外政策等问题，减少生产成本、提升生产效率成了企业的目标。

半导体生产是一种具有高度复杂的生产工艺，对生产环境、生产工序都有着极为严苛的要求，尺寸特殊且非常精密，几乎无法手动生产集成电路。而RFID技术作为物联网的感知层面，是现实世界与虚拟世界进行信息交换与通信的核心环节之一，实现智能化识别、定位、跟踪、监控和管理等。

1、FOUP晶圆盒产线

将科智立RFID半导体读写器安装在机械手臂上，晶圆盒部署RFID载码体。当机械手臂开始工作时，读写器自动采集载码体的信息，了解产品的种类、加工情况，并匹配到生产控制系统中相对应的生产工序对产品进行加工，跟踪晶圆盒在加工流程中的具体位置，实时监测所有的晶圆加工情况。

2、FOUP晶圆盒运输

由机械手臂上的RFID半导体读写器识读FOUP晶圆盒上的标签，获取FOUP晶圆盒的产品信息，将晶圆盒放置在AGV小车上，AGV小车读取晶圆盒上的标签，获取到晶圆盒的存放地点并运输至该地，实现物料的自动运输。

3、晶圆存储柜的使用

RFID半导体读写器安装在存储会承载平台支撑板的下方，当FOUP晶圆盒进入存储柜时，半导体读写器识别RFID载码体，判断晶圆盒的存放信息、是否存放正确，并记录此次存放的时间、数量、批次等信息。在必要时，可根据关键词快速找到相对应的晶圆。

科智立RFID半导体读写器设备

JY-V640

JY-V640是面向半导体制造业开发的半导体RFID读写器，采用HDX半双工数据传输模式，支持SECS协议和Modbus RTU协议，符合世界SEMI标准，兼容TI公司产的CID载体，具有出色的读写可靠性和耐环境性，支持外部光电开关的IO信号触发读卡。

JY-V610

JY-V610半导体RFID读取器小巧轻便，采用一体式设计，可灵活安装。支持134.2kHz工作频率，采用HDX半双工数据传输模式，支持标准Modbus RTU协议，内部集成射频部分通信协议，使用操作简单，无需理解复杂的射频通信协议。

使用效益

1、提升半导体行业自动化水平；

2、有效减少人FOUP晶圆盒与人的接触，避免灰尘堆积对产品品质的影响；

3、采用自动化运输，简化管理，加快工作效率；

4、实时监测生产流程、实时管理工作，实现效率的最大化；

5、避免人员过多的走动造成灰尘飞扬，大幅减少后期的维护工作。