亚斯特系统推全新自动物料流搬运系统FabEX AMHS

　　美商亚斯特系统(Aquest Systems)发表FabEX AMHS的全新技术，在FabEX AMHS系统中可将晶圆盒传输与装载分开作业，提升快速传输效能。此外，该公司已荣获来自半导体芯片代工制造和DRAM 内存制造龙头大的FabEX AMHS新订单，包括台湾与韩国的大厂。 

　　这次的订单是延续亚斯特发表自行研发的No-Wait-ProductivitySM Improvement (NPI)方案的重大突破，NPI现已在台湾量产并且已使用在力晶半导体(PSC)的P1和P2内存芯片制造?房。该公司表示，亚斯特的NPI方案在力晶?房里验证了其能在不影响现有晶圆?制造生产、不需停机的状况下安装与导入FabEX AMHS系统。 

　　亚斯特的FabEX Transporter专利技术，可以协助芯片制造?房?现有的自动物料流搬运系统提升效率，改善传送瓶颈等问题。而且FabEX Transporter的安装不须要停止??现有系统，也不需做软件或机构的变更修改。

　　FabEX Transporter可以直接和现有的洁净室自动仓储(stocker)和悬吊式搬运车系统(OHT)整合运用，及时缩短晶圆制造周期时间(cycle time)，有效提升设备使用率和产能。 

　　安装这些新的台湾和韩国订单，亚斯特FabEX Transporter必须与正在使用中的日本Daifuku和Asyst-Shinko AMHS系统做整合。这两项专案也显示客户未来将计划以阶段性的方式，以数百万美金导入使用亚斯特的FabEX Transporter系统以利提升及改善现有晶圆厂的产能，并提升现有的AMHS设备。 

　　亚斯特产品及技术行销副经理Michael Brain指出：“由新的台湾和韩国订单可见，许多IC产业制造龙头认同亚斯特的新产品技术。也因为台湾和韩国是世界主要的晶圆生产制造国，新加入的策略客户群能巩固亚斯特在自动物料流搬运系统的供应商地位，晶圆厂更能以较低成本而有效的提升现有AMHS的产能”。 

　　FabEX AMHS是一个优化的No-Wait-AMHSSM系统，获得专利的FabEX Transporter技术可高速的搬运仅10公斤重的前开式芯片传送盒(FOUP)，其速度可高达每分钟3公尺以上。此外，FabEX AMHS系统能敏捷的转弯移动且过程所产生非常微量的晃动和灰尘。FabEX AMHS不须要使用搬运车(vehicle)，可解决传统的输送带或悬吊式AMHS系统常预的阻塞及延滞问题，亦带来较高的输送量。再加上IP控制技术和简易的管理软件，FabEX AMHS可轻易地融合在半导体内。